- 硅片硅棒類
- 氧化氮化金屬膜
- 光刻膠及相關試劑
- SOI、GOI、SOS
- GaAs,Ge等Ⅲ-Ⅴ族
- 藍寶石、石英、玻璃
- 晶體、納米材料
- 電鏡、實驗室耗材
- 包裝材料、樣品盒
- 設備、備件及維修
- 芯片、器件
- 微納加工服務
|
|
· 研磨硅片 · 拋光硅片 · 紅外透過硅片 · 本征高阻硅片 · 超薄、超厚硅片 · 外延片 · 切割特殊尺寸硅片 · XRD無衍射峰硅片 · 硅棒 · 進口拋光硅片 |
|
|
|
· 氮化硅片 · 氧化硅片 · 金屬鍍膜片 |
|
|
|
· AZ全系列 · SU-8系列 · 日本光刻膠 · DOW光刻膠 · 國產正膠及負膠 · 其它光刻膠 · 道康寧PDMS · 顯影、去膠、腐蝕液等試劑 |
|
|
|
· SOI · GOI · SOS |
|
|
|
· GaAs · Ge · SiC · GaN · InP · GaP · GaSb · 多層膜外延襯底 |
|
|
|
· 藍寶石 · 單晶石英晶體 · 石英玻璃及制品 · 康寧肖特K9玻璃 · ITO、FTO、AZO導電玻 · 陶瓷片 |
|
|
|
· 石墨烯 · 氧化石墨烯、碳納米管 · 納米粉末 · 各種晶體材料 · 納米導電銀漿 · 靶材真空耗材 |
|
|
|
· 電鏡鑷子 · 銅網(wǎng)碳膜 · 導電膠帶 · 云母片 · 樣品臺 · 實驗室耗材 |
|
|
|
· 包裝材料 · 單片盒 · 立式插槽盒(25片卡塞盒) · 圓形晶園盒 · 吸附盒 · 彈性膜盒 · 真空釋放盒 · 托盤盒 · 收納盒 · 清洗花籃 |
|
|
|
· 勻膠機 · 烤膠機 · 滴膠機 · 管式爐 · 光刻機 紫外燈 · 烘箱 · 加熱臺 · 手套箱 · 超聲清洗機 · 離心機 · 蒸發(fā)儀 · 濺射臺 · 切割劃片機 · 真空泵 · 吸盤 |
|
|
|
· 芯片、器件 |
|
|
|
· 掩膜板定制服務 · 激光加工打孔 · Mems加工 傳感器 · 光刻 · 氧化 · 切割 貼膜 · 鍍膜 · 摻雜擴散 · 鍵合外延 · 電鍍技術 · TSV技術 · 封裝工藝 · 濕法腐蝕工藝 · PDMS技術 |
銷售客服電話:0512-88981563
Tel/Fax:0512-88981563
業(yè)務手機1:13616276819
QQ: 2219359174
QQ: 549898941
銷售郵箱:szjingxidz@163.com
網(wǎng)址:ok654.cn
地址:江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)匯隆街21號
光刻膠、配套試劑及相關化學品;
厚膠系列光刻膠、配套顯影液、去膠液、稀釋增粘劑、HMDS等各種光刻耗材
厚 膠 |
|||||
型號 |
光源 |
類型 |
分辨率 |
厚度(um) |
適用范圍 |
SU-8 GM10xx系列 |
g/h/i-Line |
負性 |
0.1um |
0.1-200 |
具有最大的高寬比,透明度高,垂直度極好。 |
SU-8 Microchem |
g/h/i-Line |
負性 |
0.5um |
0.5-650 |
具有最大的高寬比,透明度高,垂直度極好。 |
SPR220 |
g/h/i-Line |
正性 |
1um |
1—30 |
可用于選擇性電鍍電鍍,深硅刻蝕等工藝。 |
AZ P4620 |
g/h/i-Line |
正性 |
0.1um |
10-15 |
高對比度,高感光性,高粘附性,適用于半導體和微電鍍。 |
三、光刻膠、配套試劑及相關化學品;
SU-8全系列光刻膠、配套顯影液、去膠液、稀釋增粘劑、HMDS等各種光刻耗材;
產品名稱:美國Microchem SU-8光刻膠
產品內容:
SU- 8光刻膠是一個高對比度,環(huán)氧基光刻膠專為微加工和微電子等的應用需要的厚膠,化學和熱穩(wěn)定的圖像. SU-8 2000是一種改進的配方的SU- 8,SU-8已被廣泛用于通過MEMS制造多年。使用更快的干燥技術,極性更大的溶劑的系統(tǒng)改進了涂層質量,并增加了處理量. SU- 8 2000有12個標準粘度. 膜厚度的0.5到> 200微米可以通過一個單一的涂層過程實現(xiàn)。曝光和隨后的膜熱交聯(lián)的部分不溶于液體顯影劑。 SU- 8光刻膠有優(yōu)秀的成像特性,并能產生非常高的縱橫比結構。 SU- 8光刻膠具有非常高的光傳輸性高于360納米,這使得它非常適合在很厚的薄膜附近的垂直側壁成像。SU-8光刻膠很適合永久性應用中成像,固化并留在設備上.
SU-8 光刻膠 特點:
? 高縱橫比成像
? 0.5至>200μm的膜厚在單一的涂層
? 改進涂料性能
? 快速干燥增加處理量
? 近紫外線(350-400nm)的處理
? 垂直側壁
Microchem SU-8 2025-2075-2150 同等轉速,厚度逐漸提高,可根據(jù)自己實驗需求選擇具體的型號。目前SU-8光刻膠有2000系類和3000系列兩類產品,3000系列升級后對光刻膠的粘附力,產品精度等性能進一步完善。
SU-8光刻膠 品牌:gersteltec
品牌: 瑞士GES公司提供多種不同組成的、基于IBM開發(fā)的環(huán)氧樹脂膠SU-8光刻膠;
應用:GES公司光感環(huán)氧樹脂光刻膠包括先進的功能性SU-8光刻膠滿足并超越世界領先微系統(tǒng)器件廠商的需要,在半導體工業(yè)、微納米技術應用領域具有較強的優(yōu)勢。使用傳統(tǒng)UV光刻技術等對超厚SU-8及功能性SU-8光刻膠進行圖案化,廣泛用于MEMS、MOMES、UV-LIGA、顯示器、柔性顯示器、微流道、生物醫(yī)學、半導體、封裝、太陽能、光子晶體、微燃料電池等領域。
GES公司開發(fā)的SU-8及功能性SU-8光刻膠主要用于需要甩膠厚度大、高深寬比并且垂直側壁形狀的應用;能夠使用幾種不同光刻技術如X射線、紫外及電子束曝光等進行圖案制作。
1、GM1010和GM1020 電子束曝光應用
瑞士GES SU-8系列光刻膠 |
GM1010 |
GM1040 |
|
GM1050 |
|
GM1060 |
|
GM1070 |
|
GM1075 |