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SU-8光刻膠

光刻膠、配套試劑及相關化學品;

厚膠系列光刻膠、配套顯影液、去膠液、稀釋增粘劑、HMDS等各種光刻耗材

厚  膠

型號

光源

類型

分辨率

厚度(um)

適用范圍

SU-8 GM10xx系列

g/h/i-Line

負性

0.1um

0.1-200

具有最大的高寬比,透明度高,垂直度極好。

SU-8 Microchem

g/h/i-Line

負性

0.5um

0.5-650

具有最大的高寬比,透明度高,垂直度極好。

SPR220

g/h/i-Line

正性

1um

1—30

可用于選擇性電鍍電鍍,深硅刻蝕等工藝。

AZ  P4620

g/h/i-Line

正性

0.1um

10-15

高對比度,高感光性,高粘附性,適用于半導體和微電鍍。

三、光刻膠、配套試劑及相關化學品;

SU-8全系列光刻膠、配套顯影液、去膠液、稀釋增粘劑、HMDS等各種光刻耗材;

產品名稱:美國Microchem SU-8光刻膠

產品內容:

SU- 8光刻膠是一個高對比度,環(huán)氧基光刻膠專為微加工和微電子等的應用需要的厚膠,化學和熱穩(wěn)定的圖像. SU-8 2000是一種改進的配方的SU- 8,SU-8已被廣泛用于通過MEMS制造多年。使用更快的干燥技術,極性更大的溶劑的系統(tǒng)改進了涂層質量,并增加了處理量. SU- 8 2000有12個標準粘度. 膜厚度的0.5到> 200微米可以通過一個單一的涂層過程實現(xiàn)。曝光和隨后的膜熱交聯(lián)的部分不溶于液體顯影劑。 SU- 8光刻膠有優(yōu)秀的成像特性,并能產生非常高的縱橫比結構。 SU- 8光刻膠具有非常高的光傳輸性高于360納米,這使得它非常適合在很厚的薄膜附近的垂直側壁成像。SU-8光刻膠很適合永久性應用中成像,固化并留在設備上.

SU-8 光刻膠 特點:

? 高縱橫比成像

? 0.5至>200μm的膜厚在單一的涂層

? 改進涂料性能

? 快速干燥增加處理量

? 近紫外線(350-400nm)的處理

? 垂直側壁

Microchem SU-8  2025-2075-2150  同等轉速,厚度逐漸提高,可根據(jù)自己實驗需求選擇具體的型號。目前SU-8光刻膠有2000系類和3000系列兩類產品,3000系列升級后對光刻膠的粘附力,產品精度等性能進一步完善。

SU-8光刻膠             品牌:gersteltec

品牌: 瑞士GES公司提供多種不同組成的、基于IBM開發(fā)的環(huán)氧樹脂膠SU-8光刻膠;

應用:GES公司光感環(huán)氧樹脂光刻膠包括先進的功能性SU-8光刻膠滿足并超越世界領先微系統(tǒng)器件廠商的需要,在半導體工業(yè)、微納米技術應用領域具有較強的優(yōu)勢。使用傳統(tǒng)UV光刻技術等對超厚SU-8及功能性SU-8光刻膠進行圖案化,廣泛用于MEMS、MOMES、UV-LIGA、顯示器、柔性顯示器、微流道、生物醫(yī)學、半導體、封裝、太陽能、光子晶體、微燃料電池等領域。
GES公司開發(fā)的SU-8及功能性SU-8光刻膠主要用于需要甩膠厚度大、高深寬比并且垂直側壁形狀的應用;能夠使用幾種不同光刻技術如X射線、紫外及電子束曝光等進行圖案制作。

1、GM1010和GM1020 電子束曝光應用




瑞士GES

SU-8系列光刻膠

GM1010

GM1040

GM1050

GM1060

GM1070

GM1075




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